-
- Apparaten
Innovatieve samenwerking voor hulpbronnenefficiënte wafercontrole
Fraunhofer IPMS en DIVE optimaliseren halfgeleiderprocessen met innovatief meetsysteem
Het Fraunhofer-Institut voor fotonische microsystemen IPMS heeft samen met DIVE imaging systems GmbH een fundamentele stap gezet richting hulpbronnenefficiënte halfgeleiderfabricage. Met de succesvolle installatie van een optisch meetinstrument van DIVE in de cleanroom van het Fraunhofer IPMS kon de…








