Fotolitografie v novém světle – čisté místnosti pro high-tech odvětví
Heidelberg Instruments navrhuje, vyvíjí a vyrábí maskované laserové lithografické systémy pro výrobu mikrostruktur a obsluhuje tak celosvětovou komunitu fotolitografie jak v oblasti přímého zapisování, tak ve výrobě fotomask. Mezi oblasti použití patří MEMS, mikrooptika, pokročilé balení (3DIC), int…








