Průkopnický výzkum polovodičů na 200/300 mm v srdci Silicon Saxony a Evropy

300 mm čistá místnost Fraunhofer IPMS. © Fraunhofer IPMS / 300 mm čistá místnost v Fraunhofer IPMS. © Fraunhofer IPMS

300 mm čistá místnost Fraunhofer IPMS. © Fraunhofer FEP / 300 mm čistá místnost v Fraunhofer IPMS. © Fraunhofer FEP

Evaluační sada pro kvazistatické MEMS skenery. © Fraunhofer IPMS / Zákaznická evaluační sada pro kvazistatické MEMS skenery. © Fraunhofer IPMS

Moderní elektronické vývoje vyžadují nejmodernější technologie a výrobní postupy, které představují finanční výzvu pro mnoho podniků. Uprostřed Silicon Saxony nabízí Fraunhoferův ústav pro fotonické mikrosystémy IPMS jak velkým výrobcům čipů, tak menším firmám přístup k nejnovějším výzkumným výsledkům a technologiím na 200 a 300 mm křemíkových waferech. Nabídka služeb sahá od poradenství přes vývoj procesů až po pilotní sériovou výrobu. Důležitou roli zde hraje také GreenICT – udržitelnost.

Inovativní, malý, rychlý a přesný. A k tomu ještě špetka energetické účinnosti. Takové jsou požadované složky pro mnoho pokročilých technologií a miniaturizovaných součástek. Aby mohl být rychlý technologický pokrok dále podporován, nabízí Fraunhofer IPMS i menším podnikům přístup ke svému výzkumnému portfoliu, nejmodernějším technologiím a zařízením, stejně jako k čistým prostorům na 200 mm a 300 mm.

MEMS technologie a součástky na 200 mm waferech

Ve Fraunhofer IPMS probíhá technologický vývoj a podpora MEMS technologií v celém hodnotovém řetězci: od jednotlivých procesů přes technologické moduly až po kompletní technologie a technickou podporu zařízení v čistých prostorách. Po úspěšném vývoji nabízí ústav pilotní výrobu nebo podporu technologického transferu. Tím Fraunhofer IPMS pokrývá technologické stupně (TRL) od tří do osmi. Především start-upy, malé a střední podniky a firmy bez vlastního výrobního závodu tak mohou profitovat z nízkých investičních nákladů.

V oblasti senzoriky a aktuátorů vyvíjí Fraunhofer IPMS například kapacitní ultrazvukové senzory. Ty jsou nabízeny jako platforma, která umožňuje rychlé zákaznické úpravy. To také poskytuje středním podnikům cenově dostupný přístup k vysoce pokročilým technologiím.

Dalším důležitým aspektem pro zákazníky je jednoduchá a levná možnost testování nejnovějších vývojů v jejich aplikacích. K tomu nabízí Fraunhofer IPMS hodnotící sady (Evaluations-Kits). S těmito připravenými sestavami mohou zákazníci například okamžitě začlenit mikroscannovací technologii do svého vývoje produktu, protože odpovídající řídicí elektronika, která splňuje specifikace, je již součástí dodávky. Nákladné vlastní vývoje tak odpadávají.

300 mm polovodičové procesy a vývoj produktů pro nanoelektroniku

S centrem Nanoelectronic Technologies (CNT) provádí Fraunhofer IPMS aplikovaný výzkum na 300 mm waferech pro výrobce čipů, dodavatele, výrobce zařízení a výzkumné partnery.

V rámci toho je nabízena řada technologických vývojů a podpůrných služeb v oblasti ultra velké integrace (ULSI). Patří sem například jednotlivé procesní vývoje v oblastech depozice atomových vrstev, chemicko-mechanického leštění, metalizace waferů, čištění waferů, metrologie nebo nanopatterningu. Dále je možné hodnotit a optimalizovat chemikálie a spotřební materiály pro nejnovější CMOS technologie, stejně jako kvalifikace zařízení v čistých prostorách CNT. Hlavní zaměření výzkumných aktivit je na front-endové oblasti s důrazem na integraci funkcionalit do spojovacích vrstev (BEoL modul). Patří sem především různé nevolatilní paměti, kondenzátory nebo varaktory. Společně s Fraunhofer IZM-ASSID (zaměřením na heterointegraci a balení na waferu) jsou v centru CEASAX (Center for Advanced CMOS & Heterointegration Saxony) sdružovány kompetence a stanovena výzkumná témata v oblasti neuromorfního výpočtu, kryo- a kvantové technologie či pokročilého balení.

Pro rozšíření možností bylo ve spolupráci s firmou Applied Materials založeno technologické centrum pro polovodičovou metrologii a analýzu procesů. Ve Fraunhofer IPMS byly nainstalovány vysoce pokročilé e-beam metrologické přístroje od Applied Materials. Přesná měřicí technika je klíčová při výrobě mikroprocesorů pro zajištění kvality, ověření fyzikálních a elektrických vlastností a zajištění požadované výtěžnosti.

Green ICT – udržitelná informační a komunikační technologie

Nejnovější výzkumné výsledky na »Semicon Europa«

Od 16. do 19. listopadu představí Fraunhofer IPMS své nejnovější výzkumné výsledky a technologie na veletrhu »Semicon Europa« v Mnichově. Návštěvníci budou mít příležitost navázat kontakt s výzkumníky na společném stánku #B1-221/33a od Silicon Saxony. Schůzky lze již předem domluvit prostřednictvím webových stránek Fraunhofer IPMS. V rámci Výzkumné továrny mikroelektroniky Německa (FMD) jsou zastoupena i další tři členové FMD – Fraunhofer ENAS, Fraunhofer IZM-ASSID a Leibnizův institut pro inovativní mikroelektroniku (IHP).