Die zuverlässige Validierung von reinen Räumen

Eine entscheidende Voraussetzung für eine zuverlässige und wirtschaftliche Abnahme oder Validierung von reinraumtechnischen Anlagen ist das richtige Aerosolequipment.
Endfilter für reine Räume sollen nach EN 1822 mit einem Testaerosol getestet werden, dessen Maximum der Partikelverteilung im sog. MPPS-Bereich (Most Penetration Particle Size Bereich) liegen soll. Die natürliche Außenluft kann nach der Junge-Verteilung im MPPS-Bereich Konzentrationen bis 10 hoch 9 pro m³ annehmen.
Die Partikelkonzentration und die Partikelgröße der Außenluft sind an verschiedenen Orten unterschiedlich, und sie sind am gleichen Ort zu verschiedenen Zeiten ebenfalls unterschiedlich. Daher werden zur schnellen und sicheren Abnahmemessung von reinen Räumen hochkonzentrierte Testaerosole verwendet. Die Konzentrationen dieser Testaerosole liegen bei ca. 10 hoch 11 bis 10 hoch 14 pro m³. Die Partikelkonzentrationen im reinen Raum liegen bei ca. 10 bis 10 hoch 5 pro m³.

Optische Partikelzähler (OPC) sollen die wenigen Ereignisse im reinen Raum schnell und zuverlässig messen. OPCs haben deshalb einen großen Absaugvolumenstrom, z. B. 28,3 l/min. Die maximale messbare Partikelkonzentration eines ?Reinraumzählers? liegt bei ca. 10 hoch 6 pro ft³ bzw. 35 x 10 hoch 6 pro m³.
Aus diesem Grunde werden zur Messung der Außenluft und zur Charakterisierung von Testaerosolen sogenannte Aerosolspektrometer eingesetzt, die Partikelkonzentrationen bis 10 hoch 11 pro m³ unverdünnt messen können.

An diesen Zahlenbeispielen wird deutlich, dass bei der Konzentrationsbestimmung des Rohgases mit sogenannten Reinraumzählern Verdünnungssysteme eingesetzt werden müssen.

Die Aerosolgeneratoren der Firma Palas® liefern das gewünschte schmale Partikelgrößenspektrum und verschmutzen somit nicht unnötig die zu testenden Filter. Die Palas®-Aerosolgeneratoren sind für die verschiedenen Einstellparameter eindeutig charakterisiert. Sie zeichnen sich durch eine hohe Dosierkonstanz und reproduzierbare Einstellung aus.

Auch die Palas®-Verdünnungssysteme zeichnen sich durch die eindeutige Charakterisierung aus. Aus diesem Grunde sind sie auch in der VDI-Richtlinie 3491 Bl. 16 beschrieben.
Die Palas®-Verdünnungssysteme lassen sich kaskadieren, wodurch einfach und zuverlässig Verdünnungsfaktoren von 10 bis 100 000 realisiert werden können. Mit der Kaskadierung kann vor Ort ein sicherer Funktionstest des gesamten Aerosolequipments durchgeführt werden.

Die Palas®-Aerosolspektrometer besitzen durch die Weißlichtquelle und die 90° Streulichtdetektion eine eindeutige Kalibrierkurve und ermöglichen daher Messungen mit hoher Auflösung und sehr guter Klassifiziergenauigkeit.

Die Palas-Produkte haben sich im weltweiten Einsatz bewährt. Verkaufte Stückzahlen:
Aerosolgeneratoren: ca. 500
Verdünnungssysteme: ca. 1000
Aerosolspektrometer: ca. 140

Weitere Informationen erhalten Sie von der Palas® GmbH:
mail@palas.de oder info@dr-lindenthal.de
Besuchen Sie auch unsere Website: www.palas.de

Literatur
/1/ EN 1822
/2/ Reinraumtechnik, Meßtechnik in der Reinraumluft, VDI 2083 Blatt 3
/3/ Methoden zur Charakterisierung und Überwachung von Prüfaerosolen, Übersicht VDI 3489, Blatt1
/4/ Optischer Partikelzähler, VDI 3489, Blatt 3
/5/ Methoden zur Erzeugung von Prüfaerosolen, VDI 3491, Blatt 1-2
/6/ Gail, Lothar; Hortig, Hans-Peter: Reinraumtechnik, Berlin/ Heidelberg 2002