-
- Produkty, zařízení, systémy, zařízení pro aplikace
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, člen globální skupiny Busch Group, rozšířil své portfolio turbomolekulárních vakua o ATH 4506 M – největší model řady ATH-M.
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions představuje novou turbopumpu ATH 4506 M
S sáním výkonem 4 500 l/s pro dusík je nová turbomolekulová pumpa vhodná pro procesy v polovodičové výrobě, nanášení na velké plochy a další aplikace, kde je vyžadován vysoký průtok plynu, například při evakuaci velkých vakuových komor pro vesmírné simulace.
Plug&Play provoz s integrovaným řadičem
ATH…








