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Moleküle im Griff
Geht es um Kontamination im Reinraum, so heißt das primäre Überwachungsziel in der Regel „Partikel“. Das ist nicht verwunderlich, denn Partikel tummeln sich millionenfach in der Luft – pro Kubikmeter wohlgemerkt. Es gibt allerdings eine weitere Form der Verunreinigung, die bei Planung und R…










