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Outgassing unter Kontrolle – Reinheit in der Halbleiterfertigung sichern
Wesentliche Fakten auf einen Blick
– evolast® setzt einen neuen Massstab für Reinheit in der Halbleiterindustrie: Entwickelt für ultra-niedrige Ausgasungsleistung, die die Prozessintegrität in kritischen Plasma-, Temperatur- und Nasschemieumgebungen schützt.
– Der fortschrittlichste niedrig ausgasende Ela…












