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16.12.2009 08:36:16

Berechnung erforderliche Reinraumklasse

Author: Christina Schüßling

Hallo,

ich schreibe gerade meine Bachelorarbeit zum Thema "Verarbeitung ungehäuster ICs". In dem Zusammenhang muss ich auch die erforderlichen Umgebungsbedingungen betrachten. Gibt es denn eine Formel mit der ich Berechnen kann welche Reinraumklasse ich brauche? Quasi wenn meine kleinste Struktur 50 µm ist dürfen nur Partikel in der Luft sein die nur 20% der Größe haben und das entspricht dann Reinraumklasse xy...

wär schön wenn Ihr mir helfen könnt.

LG Christina


15.04.2010 10:32:27

Re:Berechnung erforderliche Reinraumklasse

Author: Brigitte Burgholzer

Hallo Christina,
Google die Norm Din Iso 14644. da findest du die Angaben über RR Klassen und die dazugehörigen Partikelgrößen und Zahlen.

LG Brigitte


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